临泽县古为雍州属地，周、秦时期乌孙、月氏驻牧，西汉时期为匈奴牧地。西汉武帝元鼎六年(公元前111年)，建河西四郡。县境设昭武县，因境内月氏驻牧时筑昭武城，汉县因之，故名，隶于张掖郡。始建国元年(公元9年)，王莽废汉立新，改昭武县为渠武县。东汉建武五年(公元29年)，复改渠武县为昭武县。三国属魏。晋武帝泰始元年(公元265年)，避司马昭讳改昭武县为临泽县。安帝隆安元年(公元397年)，以临泽县地置临池郡(治临泽)，隆安五年(公元401年)，废临池郡。北魏太平真君十年(公元449年)，县地并于永平(今张掖)县，临泽县置撤销。唐代宗广德二年(公元764年)，吐蕃据甘州，县境属吐蕃。懿宗咸通十三年(公元872年)，被回鹘占。宋为西夏所据。元属甘州路，明为甘州右卫地。清乾隆十五年(公元1750年)，置甘州府抚彝分府(称抚彝厅)，治所抚彝(今蓼泉)，属甘州府。民国2年(公元1913年)改厅为县，属甘凉道。民国18年(公元1929年)，改抚彝县为临泽县，属甘肃省第六行政督察区。

中华人民共和国成立后，临泽县隶于张掖分区。1950年，改属酒泉分区(后改称专署)。1952年，县治由蓼泉迁沙河堡。1955年，仍属张掖专区。1958年撤销县制，1962年恢复，隶于张掖专区(后称专区为地区)。现为张掖市辖县。